爪型干式真空泵的结构、特点和应用

爪型干式真空泵概述

爪型干式真空泵利用连接在两轴上的成对的爪型转子之间、转子与泵腔内壁之间以及转子与隔板之间进行有间隙、无摩擦的啮合所形成的密闭腔的容积大小变化来完成吸排气过程。

爪型干式真空泵的结构

爪型干式真空泵的结构，一般采用多级转子串联，或罗茨转子与多级转子串联的形式，组成多级爪型干式真空泵。

如图所示，四级泵腔依次串联，每级泵腔内各有一对共轭啮合，做同步反向运动的爪型转子。

四级泵腔中的级泵腔为吸气级，其吸气容积比后面三级大，形成级间压缩。

四对转子装在二根平行轴上，轴由上下两端轴承支撑，泵腔级与级之间有隔板，隔板上有吸排气通道。

电动机倒立安装，经过渡齿轮将动力传递到转子轴上，转子轴由一对同步时限齿轮带动及调整和固定转子的相位。

转子之间及转子与泵腔内部留有微小缝隙，转子悬浮于泵腔使得过流部分无任何实质性接触摩擦，也不需要润滑，这就保证了爪泵可以长期稳定保持极限真空、抽速、压缩比不变，寿命长。

爪型干式真空泵的特点

1)泵腔内不含油类等任何介质、清洁抽空，对环境；

2)真空度高，可达3Pa；

3)结构简单，易于操作和维护，运行成本低；

4)能在较高压力下长期连续工作，噪声小；

5)能抽除腐蚀性气体、有毒气体、易燃易爆气体、放射性气体、含有尘埃的气体和可凝性气体（例如水蒸气、有机气体等）；

6)能做气体传输泵使用，压缩比良好，可达10-105；

7)转子对悬浮在泵腔内，转子对间，转子与泵腔间不接触，无摩擦，使用寿命长。

爪型干式真空泵的应用

石化行业：

（1）能抽除酸性气体:如四氢呋喃等。（2）能抽除可凝性气体：如酒精、汽油等。（3）能抽除易燃易爆气体：如氧气、氢气、甲烷等。（4）防腐系列能抽除强酸性气体：如氯化氢气体、氟化氢气体、硫酸气体等。

医药行业：

结晶、蒸馏、升华、干燥、脱臭、聚合、真空蒸发、负压过滤、单体回收、吸附/脱附、物料输送腐、蚀性介质、消毒等。

食品行业：升华、干燥、脱水、真空蒸发、真空保鲜、真空包装等。

科研院所：旋蒸、蒸馏、精馏、聚合、负压抽滤、真空干燥、中试装置、风洞试验、真空环境模拟等。

电子光伏：浸渍、真空镀膜、离子刻蚀、分子束外延等。

航天航空：钎焊、真空镀膜、电子束焊、风洞试验、空间环境模拟等。

冶金行业：浸渍、挤出、真空镀膜、离子刻蚀、泥料脱气、钢水脱气、分子束外延等。

核工业：零泄露爪泵可抽除UF6气体

其它行业：中央空调、室内真空、污水处理、锂电池制造等。